Abstract
本研究利用安全度評估方法，分析半導體製造廠發生供氣中斷事件的 機會，並提出具體建議，以降低發生供氣中斷事件的機會．分析的工作包 括，發展簡單之蒸發模式，估算供氣過程中鋼瓶內壓力隨時間變化的情形 ，以找尋可能造成供氣中斷的機制及鋼瓶內液體可使用的程度；利用蒙地 卡羅計算方法估算因鋼瓶內氣體用盡而造成供氣中斷的機會；發展人為可 靠度模式，計算工程師執行設定工作時發生人為誤失的機會；發展供氣中 斷事件的故障樹，量化故障樹找出供氣中斷的機會；並做靈敏度分析，根 據靈敏度分析的結果，做出具體之改善建議．分析結果顯示，不論利用核 能工業或石油工業的失效數據量化故障樹，估算供氣系統發生供氣中斷事 件的機會均非常的高，與目前半導體廠的實際經驗不符合． 根據研究 結果，具體的建議如下，在鋼瓶氣體的使用上，仍然維持25％安全餘裕， 但可以執行磅秤校正，並要求氣體廠商提供確實的剛憑空重與液淨重，以 降低因液體用盡而發生斷氣的機會．改善工程師的作業環境，增加氣櫃旁 的照明及在ＬＬ設定值盤面旁貼上ＬＬ設定值的參考範圍，降低操作人員 犯錯的機會．蒸發模式的熱力與流力分析結果顯示，氣櫃原來設計上使用 的熱毯裝置，有助於讓氣櫃處於等溫狀態，並使得液體可以完全用盡，可 以考慮恢復使用．