Abstract
為了滿足國內X光使用者應用上之需求,同步輻射研究中心 (Synchrotron Radiation Research Center,SRRC),以將一25 pole,1.8testa之增頻磁 鐵(wiggler)裝於儲存環中,而將光子能量提升至15keV,並且提高光子通量 以供使用者使用,而且針對此增頻磁鐵也設計了三條X光光束線,目前正在 建造中。由於儲存環中四極磁鐵真空腔的尺寸限制,增頻磁鐵插入元件輻 射光源在水平方向只有13mrad可供引出。為了充份使用這有限之輻射光 源,13mrad的水平張角分成三條,光束線分別擁有3mrad,4mrad及3mrad的 水平張角。而建造一良好之X光光束線,真空度之要求亦為重要之一環,在 X光光束線中真空器壁或材料表面則會因光子的撞擊而使附著於表面之氣 體釋出,造成真空度上升,並對組件元件造成不良影響。久而久之,在光束 線上會污染反射鏡或分光儀表面,使得光束線光學性質變差,因此如何提高 真空度及降低材料表面釋氣光束線設計之重要因素。本實驗利用流量法、 氣壓增建法及質譜分析探討X光光束線中的濾光腔、分叉扁形真空腔系統 的真空特性及差分抽氣之效果。結果顯示,烘烤前系統有碳氫化合物之污 染,烘烤後濾光腔、分叉扁形真空腔系統之主要釋氣為氫氣及一氧化碳。 在差分抽氣方面,從實驗得知濾光腔、分叉扁形真空腔系統差分抽氣效果 分別為20及200倍左右,且氣導值與理論值相符合,且在正常實驗狀況之下, 準直鏡箱位置之氣壓值可符合設計之要求。