Abstract
本篇論文第一部分為合成高揮發性Ir有機金屬錯合物，作為化學氣相沉積的前驅物，探討高揮發性前驅物在合成IrO2奈米柱的性質與表現。我們將這些前驅物以冷壁式反應器在Si、LNO以及LTO晶片進行沉積，發現IrO2在三種晶片上皆有不同的形貌表現，並且對沉積結果進行掃描式電子顯微鏡、穿透式電子顯微鏡以及粉末繞射儀進行分析與鑑定，並在文中討論其結果。 第二部分為在非水溶液熱裂解法來製備Ir金屬奈米粒子，利用化學氣相沉積法前驅物的概念，在一個可以當溶液、還原劑以及保護劑的有機物（hexadecylamine）環境中，加熱到高溫，然後使Ir有機金屬前驅物高溫還原得到Ir金屬奈米粒子。並且針對這些粒子進行高解析度穿透式電子顯微鏡和粉末繞射儀進行分析，並在本篇論文討論其結果。