Abstract
第一章 緒論1.1 前言1.2 歷史1.3 基本理論1.3.1 流動的基本概念1.3.2 流動過程的基本物理量1.3.3 孔的流導1.3.4 Fischer-Mommsen 氣室第二章 撞濺離子幫浦2.1 抽氣機制2.1.1 撞濺和撞濺產額2.1.2 物理吸附2.1.3 化學吸附2.2 二極式幫浦2.2.1 結構2.2.2 工作原理2.2.3 結構改進2.3 鈍氣不穩定性2.4 三極式幫浦2.4.1 過去的發展2.4.2 抽氣作用第三章 實驗3.1 放電原理與I+/P特性3.1.1 壓電子放電3.1.2 低壓游離過程3.1.3 離子規靈敏度3.1.4 I+/P特性3.2 真空系統的安裝3.2.1 真空元件的檢查3.2.2 真空元件的清洗處理3.2.3 真空系統的安裝3.3 系統描述3.4 實驗過程與方法3.4.1 烘烤與活化3.4.2 抽速測量第四章 結果與討論4.1 304 不鏽鋼陰極4.1.1 殘餘氣體4.1.2 抽氣速率的測量4.2 Ti陰極4.2.1 殘餘氣體4.2.2 抽氣速率的測量4.3 Al 6063 陰極4.3.1 殘餘氣體4.3.2 抽氣速率的測量4.4 不同陰極之比較4.5 表面分析第五章 結論