Abstract
因申請專利緣故，資料延後公開
- Title
- 三氯氧磷退火處理原子層沉積二氧化矽於碳化矽金氧半場效電晶體之可靠度研究
- Translated title
- 三氯氧磷退火處理原子層沉積二氧化矽於碳化矽金氧半場效電晶體之可靠度研究
- Creators
- 羅偉唐
- Contributors
- 黃智方 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 電子工程研究所; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 電子工程研究所
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2014