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三電極單層自組分子奈米電晶體的研究與製作
Thesis

三電極單層自組分子奈米電晶體的研究與製作

廖均恆
Masters, 國立清華大學, 物理系
2003

Abstract

薄膜橋載台 電子束微影 分子電晶體 分子電子元件 三電極分子元件 自組分子層 矽的非等向性蝕刻 乾式蝕刻
自西元1974年A. Aviram和M. A. Ratner提出可當作類似二極體整流功能的分子電子元件模型後[1~4],開啟了分子電子科學的研究。最近,許多分子電子學的研究團體發現分子元件有類似半導體元件的特性[5,6],分子奈米電子元件的優點是能藉由”由下而上”的組成方式來製作出來,其保有分子的原有特性和其尺寸在100 nm以下。目前分子電子學遇到的兩個問題是:(1)如何製作出奈米尺寸級的載台,(2)如何將欲研究的分子精確地填入載台中。 本論文的研究即是利用一些常見的半導體技術製作出一個三電極奈米尺寸的薄膜橋載台,並利用Octanethiol[CH3(CH2)7SH]分子具有自我對準的功能(SAMs)正確地填入載台中。不同於M. A. Reed研究團隊所提出的雙電極薄膜橋[6],三電極的薄膜橋除了可以作為金屬點接觸光譜的研究和製作出整流性的分子元件外,更可以進一步製作出結構類似電晶體三個電極的元件,並在電性上發現了一個特別的現象,藉由改變閘極(Gate)電壓的大小,會使得源極電壓-源極電流特性曲線圖(Vs-Is圖)的曲線向右偏移,雖然只是個初步的研究,但這類的元件可進一步研究製作出具有開關功能的電晶體。

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