Thesis

不同厚度薄膜應力之分析

吳彥葶

Masters, 國立清華大學, 動力機械工程學系

2014

Abstract

薄膜應力

Stoney方程式

曲率半徑

光彈法

光彈儀

Fizeau干涉儀

Thin film stresses

Stoney equation

Radius of curvature

Photoelasticity

Polariscope

Fizeau interferometer

因申請專利緣故，資料延後公開

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Details

Title: 不同厚度薄膜應力之分析
Translated title: 不同厚度薄膜應力之分析
Creators: 吳彥葶
Contributors: 王偉中 (Advisor)
Awarding Institution: 國立清華大學, 動力機械工程學系; Masters
Theses and Dissertations: Masters, 國立清華大學, 動力機械工程學系
Language: Traditional Chinese
Resource Type: Thesis
Date published: 2015