Abstract
在微機電領域裡，靜電致動已廣為使用，其中又以梳狀致動器廣受歡迎，其具有容易製造、驅動電壓小、振動頻率高與輸入/輸出呈線性等優點。梳狀致動器與別的元件整合容易，應用範圍相當廣泛，如XY平台、共振器、力平衡式加速規、微小測試系統等。然而由於製程誤差所導致之不準確性，使得梳狀致動器在製作過程中無法做出完全對稱的電極，隨著行進距離之增加，電極間相互重疊之面積也增加，造成垂直於運動方向之靜電力日益增大，最後導致致動電極相互接觸，進而無法有效提升側向之行進距離。 本論文利用串聯電極結構配合電壓切換控制，達成順序驅動之目的，延後梳狀電極側吸現象之發生，以期能延長行進距離。此外，為能掌握梳狀電極之相對位移量，以達成位置回授控制，本文設計一電容感測電路搭配感測電極結構作為感測器，將所擷取之訊號透過類比/數位轉換傳送給控制器，作為位置回授控制訊號，以判別致動電壓切換時機來確保及增進其性能。最後使用個人電腦，利用Matlab Simulink建立人機介面及控制器程式以實現整個系統。