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二氧化矽粒子製備之批間控制
Thesis

二氧化矽粒子製備之批間控制

何采玲
Masters, 國立清華大學, 化學工程學系
2004

Abstract

批間控制 二氧化矽 粒徑 溶膠凝膠法 指數加權移動平均 run-to-run control silica particle size sol-gel EWMA
本研究論文是利用批間控制去改善溶膠凝膠法製備二氧化矽所做出粒子的粒徑大小;希望能夠準確的得到指定粒徑大小;也期望使用同一套儀器設備製備不同粒徑大小之二氧化矽時,皆能利用批間控制將粒徑控制在目標值。 我們利用前人之經驗模式來模擬合成過程中氨水用量對二氧化矽粒徑之影響,探討嘗試兩種批間控制方法,Tool-based和Product-based的可行性,發現Product-based控制對所有產品都可以將漂移控制成偏差,雖然各類產品之偏差各有不同,但整體效果較Tool-based控制好。 我們亦建立了一批次反應實驗系統,證明生產單一規格之二氧化矽粒子時,批間控制器的確可以在幾個批次內消除原始配方之偏差,並改善批與批之變異。Tool-based之控制會讓其中一種產品之粒徑偏大,而另一種產品之粒徑偏小。Product-based控制則可以將兩種產品都控制在設定點附近,批與批之變異亦較小。

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