Abstract
中文摘要二氧化鈦延伸式閘極離子感測場效電晶體之研究本論文是以Dual E-Gun Evaporation System沈積Titanium Oxide (TiO2)薄膜，作為延伸式閘極離子感測場效電晶體(EGFET)的感測膜，以此進行溶液中H+離子濃度的量測。文中將討論：(1) TiO2感測膜對H+離子之擷取與元件相關電性。(2) TiO2感測膜的特性分析。 從實驗中得知TiO2薄膜EGFET的感測度50?74 mV/PH(T=29℃)，pH值範圍為3?9，可以證明TiO2 薄膜是很好的H+離子的感測膜。 本論文中發現TiO2 薄膜的成分組成，當CO/CTi的比例越高的話，其感應靈敏度也會跟著上升，所以要改善TiO2 薄膜的感應靈敏度，可利用熱處理等方式提高TiO2 薄膜的含氧比例。