Abstract
近來運用微機電系統技術製作二維光學掃瞄器的應用，在生活中的例子相當多，如：光開關矩陣、共焦顯微鏡（Confocal microscopes）、投影顯示器、雷射印表機和光通訊系統。一般而言，使用標準多晶矽表面微機械製程，常因沉積薄膜的殘餘應力產生大曲率的微鏡面。而鏡面的表面特性常會影響掃描鏡面的性能。又由於微加工製程（Micro-fabrication）的限制，很難不在鏡面上開蝕刻孔洞而製作出大尺寸的鏡面。然而，掃描鏡面的蝕刻孔和大曲率的鏡面會使得掃描器的反射光發散而降低光學解析度。此外，運用微機電系統技術製作的小尺寸微掃描面鏡，因需高精度的對準設備和光點尺寸小的光源做整合，而導致高成本的元件設計。