Abstract
微機電系統(MEMS)是目前極具發展潛力的研究，在現今發展的元件中，約可分為三大類，即微感測器、微致動器和微機械結構。其中微致動器提供整個系統的動力來源，微結構需依賴它才能動作，因此微致動器的發展對微機電系統有深遠的影響。 本文改良Comtois在1995年提出的微熱致動器設計，以表面微細加工法製作二自由度微熱致動器。其運動方式由線變為面，可增加其應用範圍，例如可配合滑塊機構之使用，利用較小面積產生較大的位移量。 在設計的過程中，利用國家高速電腦中心提供之商用軟體IntelliCAD進行有限單元分析，了解在不同電壓和電流下微熱致動器變形的趨勢，且同時針對不同的幾何尺寸進行模擬，作為設計的參考。接著設計元件的製程，利用交大半導體中心與國家毫微米實驗室的設備完成本元件的製作。最後以三次元干涉儀觀察量測，並與分析的結果相互驗証。