Abstract
本實驗是探討把PZT薄膜濺鍍在不同的白金底電極及白金氧底電極上，在經過不同條件的結晶熱處理後，探討不同底電極對PZT薄膜的結晶行為及漏電流、鐵電特性、疲勞之影響探討。從實驗結果得知，PZT薄膜濺鍍在經過400℃、30分鐘真空熱處理後的白金氧底電極上面，不管鍍製白金氧底電極的氬氧比比例為何，皆有在外加小電壓的情況下便能反轉鐵電電域而得到形狀完整的電滯曲線。此現象發生的可能的原因為，白金氧底電極為多孔性結構，而孔洞使得PZT薄膜變為不連續，會造成PZT薄膜上的應力釋放(stress relief)的效果，使得當施加小電壓於PZT薄膜時，便能夠反轉鐵電電域，而有電滯曲線的出現。在含氧量較高(Ar/O2=70/30)的白金氧底電極，其殘留極化量較大。在漏電流方面，以高含氧量的白金氧底電極其崩潰電場較大。在介電特性方面，在低含氧量的白金氧底電極上的PZT薄膜，其相對介電常數約為460~540之間；在高含氧量的白金氧底電極上的PZT薄膜，其相對介電常數約為320~510之間。而在反轉電壓為正負3V及量測電壓亦為3V的疲勞測試中，Pt/PZT/Pt(O)電容結構在經過109次疲勞測試後，其可反轉的殘留極化量還有未測試前的75%。