Abstract
本研究旨在發展二維電感式電漿源的電腦模擬程式，模擬電漿中各種參數的分佈以協助電漿源的設計。本模擬程式是以自洽的流體模式為基礎，配合馬克斯威爾方程式解出電漿中電場的分佈，利用流體模式中連續性、動量、能量三個方程式算出各物種的密度分佈與電子的溫度分佈。模擬中時間差的選擇有很嚴格的限制，我們引入了半涵式解法，加大了模擬時間差，使計算的速度加快。模擬的工作氣體為氯氣，由於氯氣是雙原子分子，電漿中的粒子除了正離子與電子外，尚有負離子產生，其間有很複雜之化學反應，模擬中已考慮了這些化學反應方程式。我們可由模擬結果中看出各種粒子濃度與電子溫度隨時間的變化與在腔體中的分佈、感應電場與電漿電位的分佈、吸收功率的分佈、帶電粒子通量的分佈情形，有助於我們瞭解電漿中的物理現象與協助電漿機台的設計。