Abstract
本論文主要研究另一種產生藍光之,即利用倍頻之原理製作一QPM-SHG元件,此元件之材料為LiTaO^3,製作之過程則包括了製作週期性鐵電區反轉(periodically ferroelectric domain inversion)和質子交換( protonexchange)波導。對於波導之研究,我們將LiTaO^3晶片浸入加熱之焦磷酸,使其因質子交換而產生一高折射率之區域(planar waveguide),根據光譜儀量測之穿透率結果,proton exchange時間越長,代表薄膜與晶片折射率差異之 peak to vally △Tp-v之值會越小但代表薄膜厚度之peak數目會增加,而代表吸收之absorption △Tab則無規則之變化,因此我們懷疑是因晶片表面附著了一層由加熱焦磷酸所產生之未知薄膜,此薄膜無法以一般之清洗步驟去除.我們又研究了質子交換後,用烤箱加熱(heattreatment) 片所造成之影響,隨著加熱時間之增長,peak數目會增加,Tp-v之值會變小,△Tab則似乎有減小之趨勢,因此我們可以由此步驟來控制protonhane layer折射率與深度之變化。對於QPM-SHG元件之製程部份,我們詳細列出製作週期性反轉和波導之步驟,並實際在LiTaO^3晶片上製作出週期性反轉之Ta pattern(週期為 11.4um),然後加一高電壓反轉,最後利用酸來蝕刻晶片看出被反轉之區域。