Abstract
無英文摘要
- Title
- 以反應式直流濺鍍法製備AlCrNbSiTa 高熵氮化物薄膜及其性質探討
- Translated title
- 以反應式直流濺鍍法製備AlCrNbSiTa 高熵氮化物薄膜及其性質探討
- Creators
- 曾思蒨
- Contributors
- 葉均蔚 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 材料科學工程學系; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 材料科學工程學系
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2012