Abstract
本論文主要是對傳統壓電致動器的設計提出創新的概念，並加以應用於驅動平台，配合單晶片(AT89C52)製作定位控制電路。藉由單晶片設計優點，達成驅動電路小型化及控制器硬體化的目標，增加實際應用上的可攜性及實用性。 本文採用壓電蜂鳴片作為新型壓電致動器的製作元件。此新型壓電致動器的特色在於利用單一頻率單相的電壓來驅動轉子，有別於過去傳統的雙相電源驅動。新型壓電致動器的設計是在壓電蜂鳴片金屬背板外環間隔90°、120°、150°上鎖緊三顆螺絲並在電極與金屬背板施予66K~78KHz、±15V變流電壓，則會在90°所對應之弧邊上形成行進波驅動，經由改變驅動電壓的頻率可使轉子正反轉，並將它應用於驅動自行設計組裝的平台。驅動器之製作則利用可燒錄程式之單晶片設計。由實驗結果分析得知平台位移最佳解析度為7.5μm。本文所採用的單晶片是美商ATMEL公司所生產的晶片AT89C52，並搭配組合語言做為程式設計的工具。