Abstract
本論文主要是探討在矽晶圓上埋藏式通道光波導的應用，利用目前最具可信度的BPM(Beam Propagation Method)光學模擬軟體來設計模擬兩種不同架構的一分八MMI分光器，並且探討其優缺點。第一種架構在使用Beam Propagation Method模擬將結論歸納下，整理便發現若在波導中間加上一高折射率的薄膜層(約0.5um厚)後，可以改善因為尺寸加大後導致衰減波增長的缺點如此便能讓衰減波減短，大幅減少損失；另一種架構設計的做法是將多模波導斜放置，起初有這種想法是由於為了縮短一分八MMI分光器的總長度，再觀察一般MMI波導的輸入與輸出端的場形最高點皆位於直波導的中心，利用BPM模擬多模斜置波導發現仍具有以上特性，也就是能量最大位置仍然位於多模斜置波導的中間，並沒有因多模波導斜置後影響能量最大值的位置變化，於是試圖嘗試此種設計結構來做一分八多模波導分光器。論文中分析的內容主要包含了結構的模態、SMF-28光纖與波導相接的耦合效率(Coupling loss)、不同彎曲曲率對波導結構的損耗、MMI的最佳耦合長度、最後設計的目的是希望能設計出損耗低，長度短，均勻性佳的一分八MMI分光器。