Abstract
奈米碳管獨特之結構，與其高縱橫比之特性使其應用極為廣泛，其極佳的機械、熱傳導、物性、電性、化學特性，使其可應用於機械複合材料、儲氫材料、奈米導線、AFM碳針等，其可行應用之一為場發射顯示器之陰極顯示陣列。 本研究採用微波加熱法與微波電漿法輔助偏壓法成長奈米碳管，微波加熱法之製程能合成大量奈米碳管，量測其場發射特性也有接近1mA/cm2之發射電流密度，我們希望能成長大面積且均勻垂直於基板具方向性之奈米碳管，我們以微波電漿法輔助偏壓法成長的結構具有一致之方向性，量測其場發射電流密度可達1.8mA/cm2其起始電場為2.2V/μm，之後要再進一步鑑定其結構是否為奈米碳管，並希望能使其場發射性質提高，可達場發射顯示器之陰極顯示陣列之要求。