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以微波退火處理改善鍺金氧半電晶體之介面層研究
Thesis

以微波退火處理改善鍺金氧半電晶體之介面層研究

許家瑋
Masters, 國立清華大學, 工程與系統科學系
2017

Abstract

鍺金氧半電晶體 微波退火 介面工程 Ge MOSFETs Microwave Annealing Interface Engineering
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