Abstract
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- Title
- 以斜方晶氧化鋯鉿實現可整合於後段製程之高效能金屬-絕緣層-金屬去耦合電容
- Translated title
- 以斜方晶氧化鋯鉿實現可整合於後段製程之高效能金屬-絕緣層-金屬去耦合電容
- Creators
- 陳登荃
- Contributors
- 巫勇賢 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 工程與系統科學系; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 工程與系統科學系
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2017