Abstract
本論文建立LIGA製程中的X光微影加工系統，包含PC-base運動控制軟體，曝光劑量模擬程式及加工規劃參數設計軟體以及旋轉平台。此系統使用旋轉光罩加工，可配合標準實驗光罩，進行曝光顯影實驗，快速完整得到不同顯影時間下的曝光劑量對顯影深度數據庫。對於加工3D微結構，可根據已建立數據庫，藉由旋轉光罩加工理論，模擬加工結果及設計相對應光罩及運動規劃，進行曝光顯影實驗完成。
- Title
- 以旋轉光罩進行X-Ray微結構加工之研究
- Translated title
- 以旋轉光罩進行X-Ray微結構加工之研究
- Creators
- 曾志峰
- Contributors
- 雷衛台 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 動力機械工程學系; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 動力機械工程學系
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2006