Abstract
半導體製造業為國家重點產業，如何提高晶圓製造廠之生產力將是一重要課題。半導體的生產管理可分為生產計劃以及生產排程，本論文的研究重點為生產排程的派工決策。所謂的派工決策，是指當機臺結束維修或完成上個批量加工後，必須從等候線中選出一個批量優先來加工，而這個特定的選擇方法就稱為派工法則。流程時間(cycle time 或 flow time) 指的是投料到完成加工所經過的時間。如果流程時間長將提高晶圓受污染的機會，而使良率降低。而流程時間太長也使生產計劃訂定的難度提高，不易對市場需求的改變做有效的反應，所以降低生產流程時間為半導體生產管理的重點，這同時也是本論文研究的目標。模擬技術廣泛應用於系統評估，為一預測未來(或假想)系統狀況的重要工具，近年來更由於電腦軟硬體的進步，電腦運算速度大幅提高，使得模擬結果可以在很短的時間內得到。正因如此，我們遂將模擬應用於即時派工決策上，提出了「以模擬為基礎的晶圓製造廠派工法則」。本論探討使用以模擬為基礎的派工法則，並和其他幾個傳統的派工方法(如FIFO、SPT、Critical Ratio...)及Leachman所提之等候線管理邏輯 (Queue Management)之派工法作比較。所使用的方法為利用模擬求出重點工作站的平均使用率與平均重點流程時間的抵換曲線，觀察使用各派工法則的效率，以分析比較各派工法則的優劣。