Abstract
本文首先對橢圓偏光儀的裝置，分單波長和複波長兩種作一番介紹，實驗所用單波長者為商業化的產品，複波長者為實驗室自製，單波長者光源為雷射光，因此偵測到的光訊號強度很大，精確度較高，適合用來測薄膜厚度，複波長者光源是氙氣燈，光訊號較弱，適合用來測量材料的光學常數對波長的關係，因此，本實驗以複波長者測材料光學常數與波長的關係，而以單波長者量厚度及材料反射係數對入射角的變化情形。本文接著對橢圓偏光儀的原理作一扼要的描述，並就欲測的光學系統（試品），分成雙層介質、三層介質和多層介質等情形詳加討論。然後進而利用橢圓偏光儀來測量本實驗之試品的光學常數或厚度，此處試品的製作是在矽晶片上鍍Ｎｉ或Ｐｄ，再經不同的溫度加熱，讓其反應成矽化物，結果發現加熱前後折射率變化頗大，且以不同溫度加熱會生成不同相的矽化物，本文主要就是測量Ｐｄ和Ｎｉ的各種矽化物之折射率對波長的關係。