Abstract
本研究利用氧氣電漿來蝕刻P-型多晶鑽石膜，製作出鑽石奈米管林，刮下長度約8微米之鑽石奈米管後，使用聚焦離子束系統內的離子誘發式白金，噴灑蒸鍍在奈米鑽石管的兩端，再鍍上白金來連接鑽石奈米管與白金導電墊。其中，白金與鑽石的接點是歐姆接觸。經過兩點探針的電性量測方式得到的鑽石奈米管電阻率，其值小於P-型多晶鑽石膜的值三個數量級，而且鑽石奈米管的電阻率與直徑大小相關，透過不同溫度下的電流─電壓曲線圖而得知，兩個不同數值的激發能存在於鑽石奈米管內，其中之一是由塊材(載子受體能階)所貢獻，另一個則由表面(載子捕捉能階)所貢獻。