Abstract
實驗以溶凝膠旋鍍法鍍製不同成分(Bi4-xMxTi3O12，x=0、0.25、0.5、0.75、1)及不同摻雜元素(M=La、Y)之鈦酸鉍鐵電薄膜，分別研究摻雜量及不同摻雜元素對薄膜性質之影響。研究結果發現在以660度退火的條件下可以得到大部分的a/b軸指向結晶，另外薄膜之殘存極化量隨摻雜量有非線性之趨勢。其因素是因摻雜元素的量和鈣鈦礦結構之扭曲以及材料的居禮溫度變化有關。摻雜鑭之鈦酸鉍其最大殘存極化發生在x=0.75時，其殘存極化量和矯頑電場分別為10.887μC/cm2及158.6 kV/cm。而摻雜釔之鈦酸鉍則產生在x=0.5時，其殘存極化量和矯頑電場分別為6.928μC/cm2及87.6 kV/cm。薄膜之疲勞性質亦和摻雜量有關，鑭和釔分別在x=0.75及x=1時有最好的疲勞特性。