Abstract
近年來隨著硬碟機記憶容量的需求愈來愈高，硬碟片的製造技術也顯的愈來愈重要了，尤其是在硬碟片拋光製程部份。有愈好的硬碟片拋光品質，對提昇硬碟片資料儲存量是有很大幫助的，因此，如何有效改善拋光後硬碟片的表面特性，是一個值得努力的課題。 本研究的目的即是利用田口式實驗設計法設計實驗，探討拋光參數對拋光後硬碟片表面特性的影響。藉由分析各拋光參數與拋光後硬碟片表面特性之關係，找出其趨勢分佈，並分析趨勢所代表的意義。除此之外，藉由田口式分析，找出各個表面特性的最佳拋光參數組合，達到直接改善拋光後硬碟片表面特性的目的。 在這篇論文裡，我們選擇了主拋段時間、拋光壓力、上盤轉速、下盤轉速、太陽齒輪轉速、研磨液流速以及研磨液混合比這七項拋光參數來作為可控制的拋光參數，並觀察拋光後硬碟片的表面粗糙度、表面平坦度、材料移除率以及Roll off值這四項表面特性的變化，進而瞭解拋光參數對拋光後硬碟片表面特性的影響，達成研究的目的。