Abstract
在實驗中,我們利用一脈衝寬度約為80~100fs之鈦藍寶石超短脈衝雷射,對砷離子佈植之砷化鎵樣品,進行一系列的瞬時光反射量測。在樣品製備上,利用砷離子佈植的技術,分別形成三個不同佈植量大小的樣品;至於在其他實驗參數方面,我們將此批樣品,分別進行400與600度下,不同退火溫度,及不同退火時間長度的後續退火處理。在樣品經過適當的參數處理後,接著便進行瞬時光反射量測實驗:實驗中,我們在光波長710~810 nm的範圍,以5 或10nm的光波長間距,對樣品進行量測,以觀測其對不同波長的反應。由實驗結果顯示,樣品光反射率變化的符號, 隨著光波長的漸增,呈現出正負號轉換的特性;且由所測得的光反射波形中,我們可分解出兩個較快速與較緩慢衰減的成分,其中較快速衰減部分的時間常數,約為數百個飛秒;而較緩慢衰減的部分,在時間常數上的表現,約為數個皮秒的範圍。根據我們於物理上的解釋,較快速衰減的部分,應是由熱載子鬆弛與冷卻及砷相關缺陷捕捉所共同構成;而較緩慢衰減的部分,則應是由砷化鎵載子生命期與砷相關缺陷捕捉所組成,但由於砷化鎵載子生命期約為數百皮秒,遠大於缺陷捕捉所需時間,因此這一較緩慢衰減部分之時間常數,應即是代表著樣品中的載子生命期了。由實驗結果可知,砷離子佈植之砷化鎵的載子生命期約為數個皮秒的大小範圍,確實可作為超快光電上材質的應用。