Abstract
對於科學與醫學的研究、工業產品的開發與品質的提昇及環保問題，均與分析化學有著密不可分的關係，為了協助解決各種分析需求的問題，開發操作簡便、速度快、具高穩定性及高準確性、價錢便宜的精密分析儀器，將使分析結果更能滿足各種分析需求。各種應用於ICP 的固體樣品直接分析技術中，以雷射剝蝕樣品導入技術，受樣品的物理特性與導電性、形狀及大小影響最小，且同時具有總體分析及立體微區分析的能力。但是高能量密度的雷射光與物質產生複雜的交互作用，限制了 LA-ICP-MS在固體樣品直接分析廣泛的應用性。因此，本論文中共分為六章，分別為介紹 LA-ICP-MS之分析原理與特性，與討論實際應用於不同樣品基質的分析時，所面臨的問題與解決方法。第一章主要介紹 LA-ICP-MS之分析原理與特性，作為實際樣品分析時，選擇儀器參數與解決分析問題之參考。並與各種元素分析質譜術比較分析原理、特性與應用領域上的差異性，以提供解決各種分析需求的參考。第二章主要探討儀器參數對分析訊號靈敏度與精密度的影響，及利用田口實驗計劃法，探討攜樣氣體、樣品室內的高度及質譜分析器擷取數據的停留時間對分析訊號的影響程度與三者之間是否有交互作用的影響，以作為實際樣品分析時，選擇儀器參數之參考。第三章中將以不同顏色的PVC 塑膠及PE塑膠為例，不做任何樣品前處理，且在相同基質樣品及操作條件下，探討樣品有著不同顏色時對分析訊號的影響及克服這些差異的方法。第四章中探討直接測定約0.06μm Co-Cr-Fe-Tb 薄膜金屬主要成份含量之可行性。該樣品若以濕式的方法分析時，常面臨樣品量少及前處理等問題,目前可直接定量薄膜型態樣品的方法不多，且常因儀器的限制，而不易得到準確性佳的分析結果，因此，LA- ICP-MS將是值得利用的方法。第五章將以必須樣品前處理的粉末樣中微量鎘元素含量之分析為例，探討樣品製備及定量分析條件的影響，以建立快速及準確的分析方法。第六章中將綜合前面的研究結果，作總結與說明LA-ICP-MS的未來展望與發展。