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以電子束褪火有關磷植入CdTe之研究
Thesis

以電子束褪火有關磷植入CdTe之研究

楊宗賓
Masters, National Tsing Hua University
1983

Abstract

電子束褪火磷植入P-TYPE摻雜電洞濃度電機工程 CdTeHALL-EFFECTVAN-DER-PAWELECTRICAL-ENGINEERING
磷植入於CdTe是一種P-type摻雜的方法。利用電子束褪火來研究其可行性與效果,經由多次的Hall-effect與van-der-paw在各縱深的測試。當能量密度在9.8J/cm2時的電洞濃度可達到一較高的值,其非傳統的熱褪火所能獲致的。

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