- Title
- 低介電材料之氮氣電漿表面處理及銅金屬在其中擴散機制之研究
- Translated title
- 低介電材料之氮氣電漿表面處理及銅金屬在其中擴散機制之研究
- Creators
- 吳宜靜
- Contributors
- 張錫強 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 化學系; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 化學系
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis
Thesis
低介電材料之氮氣電漿表面處理及銅金屬在其中擴散機制之研究
Masters, 國立清華大學, 化學系
1997
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