Abstract
在這篇論文中，將研究氧化鎵（Ｇａ2Ｏ3）對低介電雙玻璃組成燒結緻密行為的影響，而其中的雙玻璃組成乃包含了具有低軟化點的白矽石玻璃（ＢＳＧ）和高軟化點的高氧化矽玻璃（ＨＳＧ）。實驗中藉攙入少量的氧化鎵於雙成份玻璃組成物中，發現燒結的緻密度顯著的降低，而整體燒結的緻密活化能卻明顯的增加。造成上述現象的理由，歸因於來自白矽石玻璃（ＢＳＧ）的鹼金族離子和來自氧化鎵的鎵離子之間產生了偶合反應(coupling reaction)；此偶合反應發生在白矽石玻璃和氧化鎵的介面，形成一層富含鹼金族離子和鎵離子的反應層，也因此白矽石玻璃中所含的鹼金族離子不斷的損耗，導致燒結期間白矽石玻璃的黏滯度逐漸的昇高。既然ＢＳＧ和ＨＳＧ雙成份玻璃燒結緻密過程的速率控制步驟乃是由白矽石玻璃的黏滯流所主控，故一旦白矽石玻璃的黏滯度昇高，便直接減緩了燒結緻密的驅動力，同時也提高了緻密化過程的活化能。