Abstract
本論文研究擬利用刮刀製程(Doctor Blade Process)製備高密度且能與金屬電極在低溫共燒之無收縮氧化鋁基板。在無收縮基板部分主要為利用纖維/玻璃複合材料作為無收縮層(constraint layer),依次以0°、90°、180°、270°排列,目的是用來減少或是抑制X/Y軸向之收縮率。配合陶瓷/玻璃複合材料作為緻密層,可增加積層陶瓷體的緻密度,且能直接網印金屬線路,達到減少製程手續及減低成本之功效。並有系統的探討此類微波陶瓷材料其製程組成、方式與微波特性的相關性,提供製程改進的依據。實驗方法為先將氧化鋁粉體(纖維)及玻璃粉體與分散劑、黏結劑及塑化劑等有機物配成漿料後,經刮刀製程,形成具有足夠強度的生胚薄片,後續再經疊層、網印、燒結等製程,製作出高性質之微波元件。實驗目標為提升燒結緻密性,並解決玻璃與氧化鋁在高溫反應之問題,以得更高品質的微波特性基板。