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低溫共燒積層致動器內壓電陶瓷的燒結行為研究
Thesis

低溫共燒積層致動器內壓電陶瓷的燒結行為研究

葉信賢
Masters, 國立清華大學, 材料科學工程學系
1998

Abstract

壓電陶瓷 壓電性質 電域結構 電域 積層致動器 低溫共燒 燒結行為 高壓電應變係數 PZT PNN-PZ-PT d33 kp piezoelectric properties actuator
本研究主要的目的是對PNN-PZ-PT壓電陶瓷粉末的燒結條件、微結構與電性間的關係做一有系統的探討,尋找出一最適切的燒結條件,以利於後續PZT陶瓷與金屬共燒行為的研究。 研究結果顯示,PZT陶瓷在800oC、3小時的燒結條件下可達到97%以上的理論密度。以研磨兩小時的粉末在950oC的燒結條件其壓電性質相當穩定,其d33 = 620-650pN/C,Kp = 0.63-0.68。當燒結溫度升高、晶粒尺寸增大時,PZT具有較佳的電氣特性,同時PZT的晶粒尺寸(1-7mm之間)與壓電應變常數(d33)、介電常數(e33)及機電偶合因子(Kp)等壓電性質均呈線性正比關係,主要乃因晶粒尺寸愈大則電域寬度也愈大,相對電域數目減少,此時PZT試片較容易極化,因此電氣特性會較佳。

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