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低溫製程成長碳化矽及其電化學應用
Thesis

低溫製程成長碳化矽及其電化學應用

邱世明
Masters, 國立清華大學, 材料科學工程學系
2014

Abstract

微波電漿化學氣相沉積 碳化矽 電化學電極 鉛離子感測 microwave enhanced plasma chemical vapor deposition silicon carbide heavy metal detection
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