Abstract
本論文主要目的在於設計模擬並製作一二極式發射系統之三元電鏡電子槍,並且希望輸出電流能高於十微安培,電子能量調變在10~50電子伏特,聚焦之發散角度小於 5度,電子束聚焦半徑小於 1mm .選擇三元電鏡電子槍優點在於它槍體短小,因此可盡量使空間電荷效應(space chargeeffect)的影響降低,聚焦半徑小.如此可以供將來從事InversesPhotoemission Spectroscopy(IPES)實驗用 . IPES是一種用來測量費米能階以上空電子能階的一種技術 .它可結合目前已發展相當成熟的Photoemission Spectroscopy實驗技術,此技術在量測費米能階以下之能帶結構,將兩種技術結合便可對固態材料之所有能帶結構完全了解.IPES技術發展緩慢主要是因其作用截面很小,不過因近來電子槍的設計製作技術已大大的增進其能量解析度和角解析度,故使得IPES技術有了十足的進步 .本文便是為此而進行電子槍之設計及製作 . 在本文的第一章中之第一節將會對電子槍的一些基本設計原理詳細描述,內容包含發射系統原理,聚焦系統和無外場空間空間電荷的影響 .而在第二節裡則有描述了本電子槍的結構是如何的設計根據什麼條件所設計等,以及其機械結構如何 ?在第二章則有對本電子槍的測試結果及測試方法與系統等 .最後第三章則為結論 .另外附錄中附有軟體的使用索引及本電子槍之設計圖 .