Abstract
由於目前網路附加應用的需求增加，使得光纖網路得以蓬勃發展，加上台灣在半導體工業上的卓越成就，因此利用矽（Si）基板並在其上沈積二氧化矽（ ）製作導光層與設計光學元件成為當今的主流研究，利用半導體的導光特性加上半導體製程的成熟技術與經驗，使得由半導體製作的光通訊元件能以較低的成本矽（Si）基板取得原料，且利用半導體製程的設備機台得以大量、精準的生產出高品質的產品，且設備機台都可以互相通用，不需額外負擔機台的成本。 本論文主要是在探討在矽晶圓上設計具有高折射率薄膜的MMI分光器（Multi-mode Interference beam splitter），而MMI分光器基本的架構為光波導，因此我們利用目前最具可信度的BPM(Beam Propagation Method)光學軟體來模擬出單模波導的尺寸規格，並以此單模波來設計1×8 MMI分光器，並利用光會向高折射率的區域集中的特性，探討在脊狀波導中加入高折射率薄膜的特性，並探討波導中加入或不加入薄膜所造成的分光損失（excess losss）、彎曲損失（bending loss），以及探討光纖更波導因為模態的不匹配所造成的耦合損失（coupling loss），並針對這些損失來著手改善，以期能夠設計出最低損失的1×8分光器。 接著想進一步減短1×8分光器的長度，以達到減少成本、微小化、簡化製程可量產的目標;我們利用3層1×2分光器堆疊擺放來完成1×8分光器，所以我們將MMI分光器以傾斜擺放的方式，這樣可以減少1×2分光器間連接的距離，使得整體1×8分光器尺吋大小得以減少。