Abstract
大部分的電漿製程系統中，射頻功率傳送到電漿的功率量測只有在功率產生器的輸出端量測。在假設是射頻功率產生器的吸收功率越接近於電漿的吸收功率之下，然而，大部分的事實卻不是這樣子。射頻功率產生器不單只是被電漿所吸收功率，匹配單元( Match unit)本身也會吸收功率，相同的，射頻功率的傳輸線和沿著功率轉換路徑的雜散阻抗 (Stray impedances) 相同會吸收功率。
- Title
- 使用快速傅立葉轉換量測電漿功率
- Translated title
- 使用快速傅立葉轉換量測電漿功率
- Creators
- 江耀群 (Author)
- Contributors
- 李四海柳克強 (Advisor)
- Awarding Institution
- National Tsing Hua University; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, National Tsing Hua University
- Resource Type
- Thesis
- Language
- English