Abstract
目前軟性觸覺感測器大多只能量測正向力與軸向的側向力，對於感測器而言，如能準確測得側向力的施力方向，則可使得元件具有更多操作應用上之選擇。本研究旨在建立偏移電容式觸覺感測器之誤差分析模型，藉由推導製程與元件作動過程，分析元件於側向力檢測功能。並藉由分析結果進行改良，以能更準確地測得側向力之方向角度與降低隨機誤差為目的。 誤差分析方面首先著重於找出造成偏移式電極設計在經由多重物理量耦合分析軟體(COMSOL)模擬，以及元件實際量測數據上，分別與理論計算間產生誤差之原因，並依此結果改良偏移式電極之設計，使元件在檢測側向力施力角度上可達到更精確之目的，以應用於觸控面板上。 感測器將以PET、PDMS等具有可撓性之材料為基板與結構層，ITO為材料製作電極，完成之偏移電容式觸覺感測器將以演算法、模擬以及實驗量測等方法對感測器之效能進行驗證。量測將對元件施以不同方向之側向力，以及模擬不同貼合誤差之情形，並使用數位電容轉換器進行電容測量，進行角度換算，以檢測對於角度量測誤差和隨機誤差上之改善。