Abstract
本論文利用壓電蜂鳴片製作出側推式超音波馬達，此超音波馬達的特色在於製作簡單、價格低廉、輕薄短小且不受磁場干擾，對於傳統式電磁馬達不適用應於的地方，具有很大的發展潛力。 針對側推式超音波馬達的特性量測方面，利用活塞原理，本研究自行製作出正向力調整器，對側推式超音波馬達施加預力，可測出超音波馬達輸出扭力與轉速受施加正向預力的影響程度，實驗顯示扭力會隨施加預力增加而增加，在1.5至2.0 N之間的施加預力有最大的轉速。有關超音波馬達輸出與輸入功率比（亦即效率），可得最高效率達37%。增加轉子負載大小時，可量測出轉子輸出扭力的影響，結果顯示在所加負載為0.5 kg及1 kg時，對輸出扭力幾無影響。 本研究自行製作出超音波馬達驅動X-Y平台與超音波馬達驅動細線電極進給裝置，其特色為構造簡單，在驅動上有良好的機動性，當起動與停止時均可作立即的反應，無遲滯現象，且不受電磁訊號干擾。