Abstract
污染源減量為改善污染最直接有效的方法，環境檢測數據可以提供污染改善的依據，是污染源減量過程中不可或缺的資料。相關之運用如排放管道的連續測定，製程設備改善前後成效測定等皆已成為法定的量測方法。 然而若要將環境檢測技術應用於較複雜的狀況，如石化工業、半導體工業環境測定，往往因為時間及空間稀釋效果，檢測數值明顯偏低，又因量測資料時間、空間的解析度有限，無法提供工廠作為後續改善的依據。 傅立葉轉換紅外光譜儀由於具有多化合物同時測定，連續快速測定，偵測低限佳，偵測距離長，偵測數據可重覆定性定量等特點，可提供豐富的污染物濃度變化資訊，對污染源減量工作應可提供比傳統檢測方法更多的協助。 本研究利用多台傅立葉轉換紅外光譜儀，配合Canister□GC/MS等監測技術，於國內石化、半導體工業區中，依工廠之需求，以實際的測試數據發展能協助工廠改善污染的監測策略及數據解讀方式。研究結果證實，長光徑FTIR能有效克服石化工業區內空間及時間稀釋效應，確實掌握污染種類及污染程度，除此之外，利用1部FTIR可判斷廠內儲槽、排放管道、設備元件或排氣閥是否為主要洩源。利用2部FTIR可判斷污染物來源，即判定污染是由廠內或廠外貢獻或精確標定廠內洩漏點。於半導體廠內，利用OP-FTIR能掌握廠內的大致環境，針對每個污染物來源及成因則可利用抽氣式FTIR針對製程機台及排放管道，由內而外全面性的評估排氣狀況及污染處理設備效率。針對部份於乾式蝕刻製程所擁有缺乏IR活性的雙原子分子如Cl2、F2可利用觸媒轉化成有IR活性的HCl、HF等物質，方便FTIR與樣品中其他污染同時加以偵測。 作為環境偵測工具之一，FTIR已證實可以有效的應用於國內實際狀況，若與其他監測技術結合則能獲得更多資訊，使環境監測技術能充份的支援工業衛生及環境污染之防治及改善工作。