光束平坦化裝置用於大面積雷射干涉微影系統之研究

Thesis

光束平坦化裝置用於大面積雷射干涉微影系統之研究

吳裕翔

Masters, 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所

2014

Abstract

雷射干涉微影

均勻度

光束整形

高斯分布

平頂分布

薄膜干涉

Laser interference lithography、

Uniformity

Beam shaping

Gaussian distribution

Flat top distribution

Thin film interference

因申請專利緣故，資料延後公開

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Details

Title: 光束平坦化裝置用於大面積雷射干涉微影系統之研究
Translated title: 光束平坦化裝置用於大面積雷射干涉微影系統之研究
Creators: 吳裕翔
Contributors: 傅建中 (Advisor)
Awarding Institution: 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所; Masters
Theses and Dissertations: Masters, 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所
Language: Traditional Chinese
Resource Type: Thesis
Date published: 2015