Abstract
現有的檢測黏著方法，如液體接觸角、粗糙度或懸臂樑陣列測試，皆必須間接依賴電子顯微鏡、三次元干涉儀等儀器記錄結構狀態，才能做判斷，固難以自動化。本論文提出一種可利用光學檢測黏著的機械結構，由懸浮與固定高度結構穿插構成。當黏著產生時，因懸浮結構貼於表面，致使結構間距較原間距大，其繞射光點間距會隨之變小；反之若無黏著時，結構間距則維持原設定，其光點間距較大。用此光學效果作黏著檢測，可由簡易的光學變化，直接判斷其黏著情形，實現快速檢測的目的，也提高機械自動量測的可行性。
- Title
- 光繞射於微結構黏著檢測之應用
- Translated title
- 光繞射於微結構黏著檢測之應用
- Creators
- 許高毓
- Contributors
- 方維倫 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 動力機械工程學系; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 動力機械工程學系
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2008