Abstract
光纖干涉式掃瞄檢測系統在生物應用中扮演重要的角色，如光學同調斷層掃瞄（optical coherence tomography, OCT）、光學都普勒斷層掃瞄（optical doppler tomography, ODT）、光學同調顯微鏡（optical coherence microscope, OCM）。本文主要在於利用微機電技術設計並製作此類檢測系統中的掃瞄關鍵元件，取代原有利用精密移動平台的技術，並藉由在光罩上設計鏡組的幾何相對位置，達成此元件在掃瞄時無額外之光程差產生的目的，減小此類光學檢測系統影像失真或訊號處理時間過長的問題。本論文發展之光纖干涉式檢測系統於量測工作中已初步證實量測系統架設確實可測得干涉訊號，且利用施加電壓頻率和顯微鏡觀察位移與所得干涉訊號相比較後發現其大致相符，可確定量測系統架設之可靠度，之後利用此量測系統驗證零維與一維掃瞄系統之無光程差特性，也已初步驗證成功。