Abstract
近年來,電子光能譜發展的相當迅速,它偵測費米能階以上的空價軌域的利器,它包涵了一個性能良好的低能電子槍,一個分光光柵及一個光點偵測器,我們將電子打在樣品上,使之產生躍遷,而激發出光子,經由光柵分光,最後由光點偵測器接收各能量的光子,本論文最主要為設計及測試光點偵測器的系統光點偵測器是由微頻道倍增板及其後的陽極電阻組成,微頻道倍增板是由許多通道,內鍍有半導體層,它具有產生二次電子的能力,當一個光子打在倍增板的表面時,約可產生10個電子,而我們收集這些電子並利用位置-時間轉換的方法,將分光點打在偵測器的聚焦位置轉換成時間差的訊號來代替位置,這可利用電子線路結合介面卡而完成收集資料的任務測試光點偵測器必需結合真空腔,將光柵放在適當位置,利用紫外光燈經過狹縫照射光柵,在聚焦點的位置上擺入光點偵測器,接收各種能量的光子,並將訊號引出真空腔外,以資料收集系統收集資料,最後得到光譜圖的波長看是否與紫外光燈的波長相同,就完成了測試結合電子光能譜的真空腔後,仍有一些問題待解決,如真空度需抽至210托耳以下,離子幫浦的位置,及系統的解析度,如何達到高解析度的範圍,和改進光子強度太弱等問題,並結合角析的方法,讓系統能達到最好的實驗條件,均是待解決的問題,若能完成角析電子光激發能譜及結合高解析度的角析光電子激發能譜,將可把樣品的價帶結構整個測量出來