Abstract
我們利用蘭米爾探針、光譜儀、質譜儀量測內置式線圈之IPVD系統，目的為了解純Ar與純N2電漿特性及發展不同的電漿研究方式。作法為(1)利用光譜儀配合光譜理論corona 模型，以及用蘭米爾探針求得的電子溫度，求出在不同氣壓下之電子溫度，還配合一簡單的載子平衡公式作為理論，確定此作法之可信度。(2)探討經由一接地的孔隙來萃取電漿粒子時，所要考慮的因素，以及得到何種特性曲線。(3)利用光譜儀、質譜儀探討電漿加入鋁原子的變化。
- Title
- 內置式線圈之游離物理氣相沉積系統的電漿特性量測
- Translated title
- 內置式線圈之游離物理氣相沉積系統的電漿特性量測
- Creators
- 張嘉萍
- Contributors
- 寇崇善 (Advisor)
- Awarding Institution
- 國立清華大學, 物理系; Masters
- Theses and Dissertations
- Masters, 國立清華大學, 物理系
- Language
- Traditional Chinese
- Resource Type
- Thesis
- Date published
- 2002