具大面積自動化加工之奈米3D微影系統

Thesis

具大面積自動化加工之奈米3D微影系統

葉哲瑋

Masters, 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所

2016

Abstract

奈米3D微影技術

高速自動對焦

疏油結構

疏水結構

結構陣列

Nano 3D Lithography

High-speed Autofocus System

Omniphobic Surface

Structure Array

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Title: 具大面積自動化加工之奈米3D微影系統
Translated title: 具大面積自動化加工之奈米3D微影系統
Creators: 葉哲瑋
Contributors: 傅建中 (Advisor)
Awarding Institution: 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所; Masters
Theses and Dissertations: Masters, 國立清華大學, 奈米工程與微系統研究所
Language: Traditional Chinese
Resource Type: Thesis
Date published: 2017