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分子拓印型光阻劑應用於微感測器
Thesis

分子拓印型光阻劑應用於微感測器

黃勝裕
Masters, National Tsing Hua University
2004

Abstract

拓印高分子微影蝕刻仿生感測器拓印因子 molecularly imprinted polymersphotolithographybiomimetic sensorimprinted factor
為了有效提升生物感測器之偵測性能,分子拓印高分子材料於其辨識層之構成上所扮演的角色已日漸受到重視。本研究主要是發展具有分子拓印效果的光阻劑應用在微感測器上,而分子拓印型光阻劑結合了分子拓印技術與黃光微影技術,其優點有:1.人工打造的辨孔洞。2.可藉黃光微影製程於同一片電極上,規範出數個不同功能的區域,達到感測器微小化之目的。本實驗藉由三種壓克力系列單體共聚合所獲得功能性高分子,利用功能性高分子和模版分子albuterol所配製的分子拓印型光阻劑,經由不同光阻配方的調整,從光學顯微鏡(OM)獲得此分子拓印型光阻劑的解析度可達到10~20μm,光阻劑感度藉由殘膜收率法得知約在100mJ/cm2,此分子拓印型光阻劑已經達到我們微小化之目的。藉由分子拓印光阻劑所製備出來的拓印電極,結合微分脈衝法偵測albuterol其拓印因子α為3~8,而偵測其他類似albuterol分子的辨識性β,clenbuterol (β<0.01)、terbutaline(β=0.604),且偵測不同濃度albuterol的線性範圍在5μM-250μM,相關係數為0.9945。本研究所發展的分子拓印型光阻劑確實已具備微影蝕刻和辨識的功能。

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