Abstract
本研究之目的是開發出具有分子拓印效果的光阻劑，並將之應用於微感測器。此分子拓印型光阻劑結合了分子拓印技術與黃光微影技術，其優點有：(1)人工打造的辨識孔洞； (2)藉由黃光微影製程，可於單一晶片上定義出多個不同功能的偵測區域，以達到感測器微小化之目的。 本實驗藉由將市售之norbornene衍生物單體(7-oxabicyclo[2,2,1]hept-5-ene-2,3-dicarboxylic anhydride)進行官能化獲得功能性單體，再以開環配位聚合反應(Ring-Opening Metathesis Polymerization)獲得功能性高分子，並將不同配方比例的分子拓印型光阻劑進行曝光顯影，以光學顯微鏡觀察線路圖形，其解析度可達20~30μm，已可成功達到微小化的目的。 將以此分子拓印型光阻劑所製備之拓印電極，結合微分脈衝法進行模版分子(Vanillylmandelic acid)的電化學分析，其拓印因子α介於1~10；此拓印孔洞也具有不錯的辨識性(Ep,HVA=0.743V、βHVA=0.44；Ep,DCPA=0.701V、βDCPA=0.35)；此VMA感測器的濃度線性範圍介於60μM-1600μM，相關係數為0.9956；再現性實驗的RSD值為3.71%，顯示其具有重複偵測的可信賴度。由實驗結果顯示，分子拓印型光阻劑結合電化學系統，確實具有發展成微感測器的潛力。