Abstract
本研究係以Interbay為主要物料搬運系統之晶圓製造廠為研究對象，以期解決晶圓製造Interbay系統獨特的資源分配問題。然而分散式製造系統中，控制架構與協調機制是相同重要的。因此，本研究運用物件導向的觀念，佐以統一化模式語言(Unified Modeling Language)作為系統描述與構建工具，建構一符合Interbay系統需求的分散式控制架構。並以此控制架構為基礎，以晶舟於系統中的物流角度觀察晶舟之執行程序，強調縮短生產週期時間及製造單元負荷平衡，分別設計兩種具前瞻性之分散式排程協調機制：Vehicle-Initiated及CST-Initiated。且沿用林所提出的物件導向式－環境為基(Object-Oriented Context-Based)之模擬系統，做為本研究分散式協調機制驗證模式的基礎，經由模擬實驗，可得出CST-Initiated較適用搬運時間較長的製造系統，Vehicle-Initated較適用於以製造加工時間較長之製造系統的結論。